Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ
Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ предназначен для контроля за толщиной напыляемых в вакууме многослойных пленочных структур. Прибор может применяться как для автономной работы, так и для работы в составе с АСУ.
Конструктивные особенности
В автономном режиме используется алгоритм, записанный пользователем. Результаты измерений выводятся на индикатор, при этом прибор принимает сигналы от встроенной клавиатуры, а также внешний сигнал запуска и вырабатывает сигнал останова. В составе АСУ прибор высылает данные ведущему процессору по последовательному интерфейсу.
В зависимости от условий применения прибор может комплектоваться магнитной защитой датчика (для работы с магнетронными системами распыления), а также системой охлаждения датчика. Наличие охлаждаемого датчика позволяет применять прибор при напылении тонкопленочных покрытий с нагревом.
Разрешающая способность по частоте, Гц |
1 |
Диапазон измеряемых частот, МГц |
4-10 |
Период измерения, с |
1 |
Разрешающая способность по толщине на Та2О5, нм |
0,1 |
Количество материалов |
10 |
Диапазон плотности материала, г/см3 |
0,1-9,99 |
Количество слоев |
10 |
Диапазон толщины материала, нм |
0,1-999,9 |
Количество пленок |
3 |
Интерфейс связи с внешними устройствами |
RS 232 |
Сигнал внешнего запуска, В |
3,5-12 |
Изоляция по сигнальным шинам, В |
2500 |
Потребляемая мощность, Вт |
6 (220 В, 25 мА) |
Диапазон рабочих температур, °C |
0…50 |
Относительная влажность при температура 20 °C, не более, % |
85 |
Габаритные размеры, мм |
110х135х230 |
Интерфейс |
RS 232 |
С прибором поставляется диск с тестовой программой Micron.exe. Программа написана для работы в ОС WINDOWS 95/98/2000.
- Срок доставки Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ - от 2 дней.
- Стоимость доставки до терминала транспортной компании - бесплатно.
- Возможна адрессная доставка по Санкт-Петербургу.